过模结构0.14thz高功率脉冲探测器研制

？基于n型硅在强电场下的热电子效应，初步研制了一种采用过模结构的0.14thz高功率太赫兹脉冲探测器。该探测器由基模波导wr6、过渡波导、过模波导wr10,n型硅探测芯片和偏置恒流源组成。模拟分析了探测器的工作过程，给出了相对灵敏度表达式，结果表明过模探测器能很好地工作在te10模式。合理设计了探测芯片的结构参数和加工工艺，完成了探测芯片的加工和探测器样机的制作。将探测器样机在0.14thz相对论表面波振荡器的辐射场进行了初步的验证性实验，并与二极管检波器的测量结果进行了对比分析。结果表明：过模探测器样机的响应时间在ps量级，相对灵敏度约为0.12kw-1，最大承受功率至少为数十w，可用于0.14thz高功率脉冲的直接探测。？