pid调节器在氧碘化学激光器谐振腔调腔中的应用

？通过对由比例（p）、积分（i）和微分（d）三个单元组成的pid调节器基本原理的介绍，指出合理设定pid调节器的参数是消除扰动的影响并实现腔镜快速、准确而稳定地移动的关键。实验结果表明，在调腔过程中应用pid技术，提高了静态时谐振腔各腔镜的同心度，而且在一定程度上保证了出光过程中谐振腔内各个腔镜的同心度，使得减小远场光斑的漂移和变形成为可能。