深紫外和频晶体clbo产生193nm激光的频率变换

？简述了深紫外和频晶体clbo的光学特性。根据相位匹配角公式、非线性有效系数公式、走离角公式和允许角公式，详细计算了clbo晶体和频产生193nm激光时的相位匹配角、非线性有效系数、和频时谐波走离角、允许角的具体数值。根据这些数值，并考虑产业化的要求，对目前几种和频方式进行了比较，最终选定波长为λ1=2100nm的o光和波长为λ2=213nm的e光作为基频光进行和频的匹配方式。此方式相位匹配角为51.6°，具有大的非线性有效系数0.97，小的走离角3.7°，大的允许角1.9×10-6rad·mm，是非常理想的产生193nm激光的匹配方式。