极紫外光源锡液滴靶的检测研究

？采用正交放置的两路ccd，基于图像采集及处理的方法，建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统，可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性。对本实验室频率为34khz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验。监测结果显示，锡液滴直径约为137μm，平均间距为375μm，稳定性较好，并对水平面上横向稳定性进行了分析。