弯月面涂胶及其胶厚均匀性的测量

？为实现大面积基片的均匀涂胶，设计组装了一台小型弯月面涂胶样机，实验了200mm×200mm基片的涂胶。利用白光干涉光谱仪扫描测量了弯月面涂胶的胶厚分布，其胶厚均匀性峰谷值偏差低于5%。对弯月面涂胶系统引起的均匀度偏差做了初步分析研究，并对比了测试系统与经校准的台阶仪胶厚测量结果，偏差小于0.8%。