低频高灵敏度中性浮力式mems矢量水听器

？由中北大学研制的微机电系统(mems)矢量水听器具有小型化、低频性能好、灵敏度高、指向性好、价格低等特点,但目前该水听器对该低频水声信号的低频探测能力不够,所以进一步提高其灵敏度对水听器的未来的发展至关重要。在声学研究的基础上,提出了中性浮力微结构并确定其参数,该结构加大了外力的有效作用面积,从而提高水听器的灵敏度,采用ansys有限元对水听器性能进行仿真,为了验证其可靠性,在驻波场测试水听器的性能。结果表明,该水听器的灵敏度-175db,频响范围为20~500hz,满足对远距离船舶辐射噪声的探测要求,灵敏度响应曲线的起伏在±1.5db以内,具有良好的“8”字型指向性,凹点深度为48.8db。