单晶金刚石微杯形谐振子的激光刻蚀制造方法

？基于激光刻蚀技术，提出了一种新型单晶金刚石微杯形谐振子的三维制造方法。由于高弹性模量、低热弹性阻尼以及较大的声波传递速度等优异的性质，单晶金刚石是一种理想的谐振子加工材料，但是金刚石硬度大且化学性能稳定，难以采用传统的加工方法成形加工。激光刻蚀因精度高，加工结构对称性好以及破损率低等特点，是一种较好的单晶金刚石加工方法。采用紫外激光加工机，研究了不同激光参数对单晶金刚石刻蚀质量的影响，通过合理设计微杯形谐振结构，规划激光刻蚀加工的轨迹，采用优化后激光刻蚀参数，实现了结构对称性较好的微杯形谐振子的加工，有望应用于高性能微杯形谐振陀螺。