220ghz折叠波导uv-liga微加工工艺

？真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展，折叠波导慢波结构是行波管的核心部件，由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性，频率越高，互作用结构的尺度越小，加工误差的要求越严格。传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的结构，uv-liga技术对于制造这种微型结构是一种很有前途的方法。用uv-liga方法制备真空器件的慢波结构，涉及到两个主要的问题：一是su8厚胶匀胶过程中如何确保其厚度及其一致性；二是横向贯穿折叠波导中心的电子注通道如何成型。以220ghz折叠波导为研究对象，针对上述两个问题开展了相关的工艺试验，使用特制的pdms模具，采用重力匀胶法，实现了大厚度su8胶匀胶，表面平整，高度一致。在su8光刻胶中通过专用夹具，嵌入透明有机丝，形成细长电子注通道。而后，采用脉冲电铸电源，在硫酸铜电铸液中电铸，获得了表面平整的无氧铜微结构。