soi环形光波导谐振腔双层石墨烯调制器

？在片上光互连系统中，电光调制器起到将电信号调制为光信号的作用，是光互联系统中的核心部件之一。调制器的3db带宽决定着载波所能携带的最大信息量,是衡量调制器性能的核心参数。利用石墨烯和高q环形谐振腔设计成具有cmos结构的新型调制器，其集成了石墨烯的宽带吸收、载流子迁移率高等材料优势和高q值环形光学谐振腔的光程放大的结构优势，通过理论计算，其3db调制带宽可以达到100ghz。同时，基于微环谐振腔的石墨烯电光调制器结构可以方便的与光互联系统中的波分复用器相集成，从而提升片上光互联系统的集成度和降低技术复杂性。