等离子体诊断用18.2nmschwarzschild显微镜

？研制了用于超快激光等离子体诊断的schwarzschild型正入射显微镜，该显微镜工作波长为18.2nm，数值孔径为0.1，放大倍数为10。根据诊断要求设计了schwarzschild物镜的光学结构，计算了物镜的光学传递函数，结果显示,设计的物镜在±1mm视场范围内像方空间分辨力可达125lp/mm。根据系统工作波长和光线在镜面的入射角度设计了mo/si周期多层膜反射镜，制作了schwarzschild显微镜光学元件，镀制的膜系周期厚度为9.509nm，周期数为30，对18.2nm波长的反射率约31.1%。利用激光等离子体光源对24lp/mm网格进行了成像实验，实验结果表明:系统在中心视场的分辨力为3μm，600μm内视场的分辨力为5μm。