基于光学调制的离焦探测技术

？通过对常用离焦检测技术的分析，提出了一种基于空间光学调制的离焦探测新方法。该方法利用压电陶瓷驱动变形镜对会聚光束进行调制，在准焦位置放置针孔（或狭缝），通过针孔（或狭缝）的调制光束被光电探测器接收，经相关检波后获得离焦信息。测得的离焦信息包含离焦量和离焦方向，且离焦信号电压与离焦量呈线性关系。搭建了实验装置，利用100hz的正弦信号对光束进行调制，检波后得到了焦前4mm到焦后2mm范围内的电压信号，结果与理论推导相符。该技术适用于圆对称光束及非圆对称光束的离焦检测，尤其适于具有柱面镜光路结构、需要快速、准确测量x和y方向离焦量的强激光领域。