高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺

？采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在k9玻璃基片上制备出了sio2和有机硅单层减反膜以及有机硅-sio2双层减反膜。考察了旋转速度对sio2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响，实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射光谱测量表明，采用本文工艺条件制备的有机硅sio2双层膜在430～800nm范围内透射率达99％以上。