清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响
, PP. 2338-2342
Keywords: 偏振分光膜,清洗,弱吸收,损伤阈值,电子束蒸发
Abstract:
？采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌，从损伤机理出发，研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响。结果表明：清洗能有效去除表面杂质，清洗质量越好，基板上的杂质尺寸越小，杂质密度也越小，相应的偏振分光膜s光的损伤阈值越高;清洗能有效去除基板表面的纳米吸收中心，吸收性杂质分布密度越小，吸收峰越低，p光的损伤阈值越高。？？
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