hfo₂/sio₂高反射膜的缺陷及其激光损伤

？用原子力、normaski和扫描电子显微镜等分析仪器，对高损伤阈值薄膜常采用的hfo2光损伤所形成的孔洞，与镀制过程中形成的孔洞形貌相似，激光再损伤能力也相似。低能量密度的激光把节瘤缺陷变为孔洞缺陷是激光预处理提高薄膜损伤阈值的原因之一。