准分子激光的光束波面测量技术

？准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用，要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性。介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术。用波面分析仪对xecl和arf激光特性进行全面的测量和评估，给出了主要参数的测量结果，重点分析了光束均匀性。