锌和氮离子注入gaa_(s_(1-x))p_x的光学和电学特性

？本文主要研究了锌、氮离子注入ｇａａｓ１－ｘｐｘ提高发光效率的机理．从锌在ｇａａｓ１－ｘｐｘ中的剖面看出，在ｐ－ｎ结附近锌的浓度比较低，结果降低了发光层中沉积的锌原子对光的吸收．在７７ｋ的温度下，从阴极荧光光谱可以看出氮在ｇａａｓ１－ｘｐｘ中已经形成了等电子陷阱．用锌、氮离子注入制作的发光二极管发光效率提高了近一倍．一、实验在ｇａａｓ＜１００＞单晶片上外延生长ｎ型ｇａａｓ１－ｘｐｘ（ｘ≈０．４?...