纳米尺寸微结构制备

？１０年前，电子器件的研究和制备刚刚跨入微米的量级．今天，已经在研究１００ｎｍ尺寸的器件了．从而也就出现了若干新的术语如纳米尺度器件（ｎａｎｏｓｃａｌｅｄｅｖｉｃｅ），纳米制版术（ｎａｎｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ），纳米尺寸微结构制备或简称纳米制备（ｎａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ）．纳米尺度器件（以下简称纳米器件）可分成两类常规器件和量子器件．通道长度短于１００ｎｍ的场效应管是常规器件的例子．?...