单层表面分析方法──低能离子散射和静态二次离子质谱

？固体材料的表面特性，例如电子或离子的表面发射或表面吸收，分子的表面吸附，以及表面化学反应等。取决于材料的表面层。特别是最外原子层的组成和结构．自六十年代末期以来，研究表面组成和结构的方法已获得迅速发展［１］．这些方法的信息深度范围一般为１—１０个原子层，其中低能离子散射和静态二次离子质谱可用于单层表面分析．这两种方法都是用离子束来探测表面的．和用电子束入射的情形类似，用离子束入射时也能引起四?...