应用质子活化分析测定半导体硅中痕量氧、氮和碳

？一、引言荷电粒子活化分析是一种基于核技术的分析方法．通过荷电粒子与待测核间的核反应，产生放射性核素；测量这些放射性核素的特征放射性及其强度，即可进行元素的定性、定量分析．荷电粒子活化分析轻元素的灵敏度很高，在国民经济中有着重要的应用．例如半导体材料的质量、电学性能与它的痕量轻元素杂质（氧、氮和碳）的含量有关．对这些痕量轻元素进行高灵敏度的定量测定，就成为半导体等超纯材料的研制和生产中的重要环?...