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ISSN: 2333-9721
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电子学报  2003 

降低超大规模集成电路用高纯水中总有机碳的能量传递光化学模型

, PP. 1601-1604

Keywords: 超大规模集成电路,总有机碳,185纳米紫外,光化学

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Abstract:

本文提出用185nm紫外线降低高纯水中总有机碳(TOC)的能量传递光化学模型.计算了水的流量、TOC的浓度、照射腔的尺寸与所需紫外光能量的关系,从而解决了在工程设计中185nm紫外灯的选择和计算方法.根据理论计算出的结果和实验十分一致,证实了本模型的正确性.使高纯水中的TOC由4200μg/l降至0.3μg/l,是目前国内外高纯水中TOC浓度的最好水平.

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