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ISSN: 2333-9721
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半导体激光器高反膜系参数的模拟仿真分析

DOI: 10.11830/ISSN.1000-5013.2013.06.0636

Keywords: 半导体激光器, 中心波, 偏移, 高反射膜, 镀膜

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Abstract:

分析制备半导体激光器高反膜系中出现的中心波位置偏移和峰值偏移现象,利用TFCalc软件对实验参数进行模拟仿真,得到中心波位置和峰值与膜厚偏差、膜料折射率变化的具体关系.研究结果表明:膜厚变化只能影响中心波的偏移,而不能影响峰值的大小,膜厚增大则中心波红移,膜厚减小则中心波蓝移;折射率变化会影响中心波位置和峰值的大小两个值,但折射率偏差3%已经是较大值,故折射率偏差对中心波位置的影响不会太大.

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