微波电子回旋共振等离子体放电特性研究STUDYONTHECHARACTERISTICSOFMICROWAVEECRPLASMADISCHARGE

DOI: 10.6054/j.jscnun.2009.05.012, PP. 48-52

Keywords: ECR等离子体,发射光谱,空间分布,朗缪尔双探针

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