固结磨料抛光LiB3O5晶体的抛光液优化

LiB3O5(LBO)非线性光学晶体软、脆的特点增加了超精密加工的难度。采用固结磨料抛光技术对LBO晶体(110)面进行抛光，研究酸性、中性和碱性抛光液pH值调节剂及pH值对晶体抛光材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明酸性抛光液对LBO晶体表面的腐蚀作用太大，中性抛光液的腐蚀作用太小，不适合抛光LBO晶体；乙二胺配制pH值为11的无磨料碱性抛光液固结磨料抛光LBO晶体(110)面，获得高的晶体表面质量，表面粗糙度Sa为1.94nm，表面损伤小。