锆钛酸铅厚膜驱动高机械品质因数微悬臂梁的制作与性能

采用溶胶-凝胶法与体硅微加工相结合的技术制作了2.5mm厚锆钛酸铅(Leadzirconatetitanate,PZT)厚膜驱动的微悬臂梁。测试结果表明该微悬臂梁的第一阶谐振频率约为199.63kHz，与理论计算结果非常吻合；在大气压强下测得的机械品质因数(Q值)可高达799。通过能量损耗机制分析认为该PZT厚膜比薄膜有效弹性模量更大并且具有趋向于“硬”性压电材料的性质，因此有利于微悬臂梁Q值的增强。