4H-SiC基紫外光电探测器的研究进展

介绍了4H-SiC材料用于高温、低电平紫外光电检测的优点，回顾总结了近年来4H-SiC基紫外光电探测器的研究进展，分析了改善4H-SiC基紫外光电探测器性能参数如降低暗电流、提高光电响应度等可采用的各种技术手段，探讨了4H-SiC基紫外光电探测器的发展趋势。