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ISSN: 2333-9721
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聚硅氮烷的热分解特性研究

, PP. 1-6

Keywords: 聚硅氮烷,热分解特性,氯化硅,碳化硅

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研究了由有机氯硅烷氨解制得的聚硅氮烷(PSZ)在N2与NH3气氛中的热分解特性.结果表明,在N2气氛中,PSZ经三个阶段转化为无定形陶瓷,在更高温度下则得到α-Si3N4结晶与β-SiC微晶的复合体.β-SiC的形成来源于Si-CH3基团的热分解,降低PSZ中Si—CH3,含量能提高产物中Si3N4的含量.在NH3气氛中热分解时产生脱碳反应,导致形成无定形态的无机物,它在1500℃转化为几乎为纯的α-SiN4.

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