末端化聚酰胺和交联剂及光酸产生剂所组成的三元负型光敏支化聚酰胺

研究了由未端化支化聚酰胺、交联剂(MBHP)和光酸产生剂(PTMA)所组成的三元负型光敏聚合物体系.其中,不对称ABB′型单体4-(2,4-二氨基苯氧基)苯甲酸3在亚磷酸三苯酯(TPP)和吡啶(Py)的存在下,通过缩合聚合得到支化聚酰胺a,由其1H-NMR数据计算得支化度(DB)为0.36接着用肉桂酰氯对支化聚酰胺进行末端化.采用IR,1H-NMR,GPC,TG/DTA对支化聚酰胺和末端化支化聚酰胺b的结构和性能进行了表征.由85wt%末端化支化聚酰胺b、10wt%交联剂(MBHP)和5wt%光酸产生剂(PTMA)所组成的光敏聚合物体系,在100℃预烘10min,采用436nm(g-line)紫外光曝光,随后在25℃于二甲基甲酰胺中显影10s,用水漂洗,110℃后烘3min后,得到负型图案,边界清晰且分辨率达40μm.