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ISSN: 2333-9721
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金属学报  2010 

Cu焊盘TiN/Ag金属化层超声键合性能及抗氧化性能

DOI: DOI:10.3724/SP.J.1037.2009.00807, PP. 618-622

Keywords: Cu互连,金属化层,超声键合性能,抗氧化性能

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Abstract:

通过磁控溅射沉积TiN/Ag金属化层作为Cu焊盘的保护层,非晶态的TiN膜作为阻挡层,阻止Cu原子的向外扩散;选择能够与Au丝形成固溶体的Ag薄膜作为键合层,提高超声键合性能.超声键合性能测试和抗氧化性能测试表明,TiN/Ag金属化层结构作为Cu焊盘保护层,具有较好的键合能力,其键合能力和焊点剪切强度在20-180℃的温度范围内随着温度的升高而升高,在180℃时获得了100\%的键合能力,剪切断裂发生在Au球与TiN/Ag键合面.TiN/Ag金属化层较相同厚度的Ag膜具有更强的抗氧化性能,原因在于非晶态TiN层对Cu原子的扩散起到了很好的阻挡作用.

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