氧浓度对MS法制备的ZnO:SbJ薄膜的光学性能影响

"在玻璃衬底上以Zn-Sb合金靶为靶材，采用射频反应磁控溅射法制备出具有良好C轴取向的ZnOSb薄膜。用X射线衍射仪、分光光度计和荧光发光光度计等测试手段分析了Sb掺杂ZnO薄膜的晶体结构和光学性质。薄膜在N2气中550℃退火后的X射线衍射谱表明Sb掺杂ZnO薄膜主要沿ZnO的（002）方向生长，没有检测到其它杂质相的生成。退火前，薄膜的光学带隙随氧浓度的增大而增大，退火后薄膜光学带隙减少。薄膜的室温光致发光谱中有较强的蓝光发射峰，并对蓝光的发射机理作了分析蓝光（487nm左右）的发射与锌填隙（Zni）和锌空位（VZn）缺陷能级有关，还与Sb3+离子提供了相应的蓝光中心有关；蓝光峰（436nm左右）的发射与锌填隙缺陷能级和氧空位（VO）形成的浅施主能级有关，这些蓝光峰的出现对于开发出单色蓝光发光器件有重要意义。"