用气相色谱法测定超纯氢中痕量O2+Ar、N2、CO、CH4和CO2

用气相色谱法测定了超纯氢中痕量杂质O2+Ar、N2、CO、CH4和CO2。将TCD和FID与预浓缩技术结合,当浓缩样品量为10升时,检测灵敏度分别达到O2+Ar为0.2ppbV、N2为0.4ppbV、CO为0.05ppbV、CH4为0.2ppbV和CO2为0.3ppbV。提出用浓缩体积差值法和按峰面积法两种方法计算样品中杂质浓度,前一种方法可消除载气中杂质浓度的影响。