高精度线性棱镜扫描器设计

？本文使用直角棱镜和正确选择旋转轴的方法，设计了在激光扫描尺寸自动检测中用的高精度线性扫描器，被它传送的激光光束在保持严格平行的出射方向上进行扫描，如采用折射率约为1.9的玻璃，在43.74mm的测量范围内可使最大线性误差小于±20nm,如果限制测量范围蓟39mm，则最大线性误差可小于±6nm。