洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模

长行程永磁直线电机粗动与短行程洛仑兹电机微动构成的复合运动可满足工作台的纳米级定位精度和跟踪精度要求，其中微动台是工作台纳米精度实现的核心，运动控制存在内部干扰耦合。该文分析洛仑兹电机运动控制的内部耦合因素及机理，建立耦合机理模型；针对位置相关性耦合与力相关性耦合，分别推导对应的耦合动力学模型，并采用简化原则进行简化；结合耦合机理模型与动力学模型，提出洛仑兹电机运动控制的总动力学模型。实验结果证明了简化模型的可行性和有效性。