微放电发射电流法测量灭弧室真空度

真空灭弧室真空度的传统测试方法主要有磁控放电法及工频耐压法。磁控放电法需要使用磁场线圈，而工频耐压法只能检出严重漏气的灭弧室。该文使用微放电起始电压Ud与发射电流起始电压Ue之比Ud/Ue测量灭弧室的真空度。该方法不需要施加磁场，而是使用下述方法进行测量：将闭合的灭弧室触头强行拉开0.2~0.3mm，然后在触头间隙上施加工频高电压，利用间隙微放电电流对触头表面进行老练，以除去触头表面原有的吸附层，最后再测量间隙的微放电起始电压Ud与发射电流起始电压Ue。理论研究表明，真空灭弧室内的真空压强p越小，Ud/Ue越大，故通过测量Ud/Ue的大小，就可以获得真空灭弧室内的真空度。文中在实验室的真空比对系统上对不同管型灭弧室的Ud、Ue、Ud/Ue与真空压强p的关系进行了测试，测试结果表明，该文提出的Ud/Ue法，其真空度测量范围能达到100~10-3Pa。