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Keywords: 硬盘,全氟聚醚,润滑膜,X射线,光电子能谱
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利用XPS分析了计算机硬盘表面全氟聚醚衍生物润滑膜的结构。结果表明,根据XPS谱图中的C15峰位可以分辩润滑剂化学结构式中各官能团;根据硬盘衬底的C-O基PFPE的F-O基团的O15峰强之比可以确定硬盘表面润滑膜的厚度,因工艺条件不同,膜厚处在1.5~6.0nm范围之间。
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