磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试

在试验的基础上提出了测量ＴｉＮ涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式，作为实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的ＴｉＮ涂层界面结合强度的影响，将测量结果与其它测量方法所得结果进行比较，证明提出的方法切实可行。