添加剂对铜沉积过程的影响

用线性扫描伏安法、循环伏安法、XRD及SEM研究了添加剂Cl^-、骨胶(Glue)和硫脲(NH2)2CS在铜沉积过程中的行为。结果表明：当Cl^-、Glue、(NH2)2CS单独存在于电解液中时，Cl^-的去极化作用使铜沉积反应的峰电流密度增大；Glue和(NH2)2CS的极化作用使铜沉积反应的峰电流密度降低，峰电势负移；当Cl^-、Glue和(NH2)2CS共存于电解液中时对铜沉积过程有较强的极化作用，会降低铜沉积反应的极限电流密度和峰电流密度。SEM和XRD测试表明：过量的硫脲会改变铜沉积的晶面择优取向，使铜结晶粒度变大。