Co、 Al共掺杂ZnO靶材溅射过程中离子与固体相互作用的模拟

根据随机碰撞过程中的级联碰撞原理， 跟踪载能粒子在固体内的慢化过程， 选用SRIM2008软件模拟了Co、 Al共掺杂ZnO靶材在溅射过程中离子与固体相互作用. 研究了溅射过程原子的选择性溅射现象， 溅射原子的能量、 角度分布情况， 得出ZnO基靶材溅射过程中离子与固体相互作用的规律. 欲获得成分接近Zn 0.85Co 0.1Al 0.05O的薄膜， 最佳的溅射工艺条件为： Ar +离子以68°的角度入射， 靶材成分采用Zn 0.7Co 0.23Al 0.07O.