S-枪溅射NiCr薄膜的Monte Carlo模拟

对Ｓ－枪溅射ＮｉＣｒ合金薄膜过程采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ法进行了计算模拟．用靶刻蚀图形作为粒子发射频度函数，采用Ｔｈｏｍｐｓｏｎ能量分布，并考虑了环境气体的热运动，得到沉积粒子的能量、入射角度的分布随溅射工艺参数的变化规律．