微加速度传感器的结构刚度分析新法

微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数.目前多采用有限元分析获取这一参数，但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式.针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器，提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度，并通过仿真分析验证了理论推导.理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性.该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析.