薄膜-基底的几个力学问题

本文介绍了近年微电子薄膜-基底组件的几个力学问题连接件边界及端部的应力集中和应力奇异性;不同薄膜-基底和界面的组合与相应的破坏模式和力学分析,薄膜与界面的力学参量的测试方法,文末提出了薄膜-基底组件的几个需要进一步研究的力学问题.