板筒复合镜电子能量分析器原理

这里介绍一种新的电子能量分析器-板筒复合镜电子能量分析器(PCMA),与目前通用的筒镜分析器CMA一样,具有二级聚焦和传输率高的优点。PCMA的主要特点是从电子源(样品)发射出来的喷射状锥形电子束通过弯曲的轨道重新会聚到样品背后的轴上。因此在用于扫描电镜SEM中作Auger电子能量分析时,与利用一般的非同轴电子枪CMA相比可以缩短SME物镜的距离,减小物镜球差,增加一次电子束流密度,从而提高Auger分析的灵敏度。