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, PP. 785-792
Keywords: 软X射线光学多层膜,结构设计,结构稳定性,结构评价
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评述了软X射线光学多层膜的结构设计、结构评价以及结构稳定性的研究现状,并讨论了目前存在的问题以及可能的解决方法
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