铜薄膜电子-声子耦合系数的实验研究

电子元件的超微型化和高集成化，对金属互连线的导热性能提出极高的要求；同时，新型高性能光电材料的开发，又需要尽可能降低受光激发电子与声子之间的耦合。电子、声子的相互作用，对于能量转换与传递过程微观机理的研究至关重要。这些载能粒子的作用时间都在飞秒一皮秒量级，本文采用飞秒激光瞬态热反射方法，对铜薄膜中微观粒子作用过程进行了飞秒量级的实验研究。通过对实验系统精细调节，得到了理想的信号曲线，在此基础上测量了不同泵浦光功率下沉积在硅基底上厚度为60nm铜薄膜的电子一声子耦合系数，测量结果为(11～l2)xl016W/(m3K)，和理论值14×l016W/(m3K)较为接近，并且不随泵浦光强发生变化。