阴极溅射SiC涂层碳纤维结构与特性研究

主要研究了阴极溅射SiC涂层碳纤维的结构与特性。结果表明:采用该工艺在碳纤维上得到的是非晶态的SiC涂层。该涂层对碳纤维的强度没有影响,在不高于700℃的温度下,涂层纤维的抗氧化性能有所改善。