分析超纯材料成分新工艺

美国国家标准和技术研究所(NIST)专家研制 成一种专门的程序保障系统,它能查明超纯材料和 合金中存在的极少量杂质。该所提出的程序包分析 了利用光栅扫描电子显微镜收集的资料,这种显微 镜的工作原理可归结为:对被研究样品辐射一电子 束,随后记录反射的电子和二次电子,并且进行X 光分析,除了有关表面轮廓信息之外,还能获得有关