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ISSN: 2333-9721
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红外  2002 

带集成紫外滤光片的背照式CCD器件

Keywords: 背照式CCD器件,电荷耦合器件,δ掺杂,集成紫外滤光片

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Abstract:

美国喷气推进实验室的研究人员目前正在研制一种带δ掺杂和集成光学滤光片的减薄型硅CCD器件,这种CCD器件为背照式器件,它将被用作在紫外波长范围内工作的成像探测器.

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