Study of High Performance and High Stablity Infrared Antireflection Film on ZnSe Substrate for 8μm ～ 12μm
硒化锌基底8μm～12μm高效高稳定性减反射膜的研究

Keywords: infrared antireflection (IR,AR),ion beam assisted deposition,yttrium fluoride (YF3)
硒化锌,波段,减反射膜,膜系,透过率,红外,宽带,高稳定性,制备,高效

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Abstract:

文中讨论了硒化锌基底上的高效高稳定性红外减反射膜的设计与制备。介绍了离子束辅助沉积该膜系的过程，给出了用该方法制备的8μm-12μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线，其峰值透过率高达99％以上，在设计波段范围内平均透过率大于98％，膜层附着性能好，光机性能稳定。

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