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红外与毫米波学报 1996
A STUDY OF INTERFACE ELECTRICAL CHARACTERISTICS FOR CdTe/ZnS PASSIVATION FILMS
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Abstract:
利用MIS结构研究了长、中、短波碲镉汞材料,新型热蒸发CdTe/ZnS钝化膜界面电学特性及其与工艺条件的关系.结果表明,CdTe/ZnS双层膜界面电学参数依赖于界面预处理条件,在适当的工艺条件下,平带电压几乎为0,固定电荷密度为-4×1010cm-2,慢态密度为5.1×1010cm-2,界面态密度为2.7×10-11eV-1.cm-2.