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半导体学报 2008
A Sacrificial Layer Etching Method Applied in Surface Micromachining Using Agitated BHF and Glycerol Solution
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Abstract:
提出了一种改进后的缓冲氢氟酸溶液，成分配比为4份40%氟化铵溶液、1份40%氢氟酸和2份甘油. 通过在牺牲层腐蚀过程中对腐蚀液加热和搅拌提高了其对氧化硅和铝的选择比，测定了氧化硅和铝的腐蚀速率随腐蚀液温度变化的关系，确定了这种腐蚀液的最优工作条件，研究了加入甘油对腐蚀液腐蚀效果的影响，并在实际器件加工过程中测试了这种方法.
