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半导体学报 2011
A total dose radiation model for deep submicron PDSOI NMOS
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Abstract:
在以往的大部分总剂量辐照模型中,人们只研究体偏为0V时的阈值电压漂移以及迁移率退化。然而,测试数据表明总剂量辐照效应与体偏紧密相关,为了模拟体偏对总剂量效应的影响,本文提出了一个宏模型,宏模型包括阈值电压、迁移率、以及漏电在不同体偏下随总剂量的变化。基于中国科学院微电子研究所开发的0.35μm PDSOI工艺的NMOS测试数据很好的验证了此模型,尤其是漏电部分。